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    安賽斯程控勻膠機

    簡要描述:名 稱:安賽斯程控勻膠機
    安賽斯程控勻膠機12英寸是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

    • 產品型號:12英寸
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-09-16
    • 訪  問  量:400

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    詳細介紹

    產品介紹:



     稱:安賽斯程控勻膠機

     號:12英寸

    應  用:安賽斯程控勻膠機勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。



    產品概述:



      安賽斯程控勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

      不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業級別400瓦伺服電機系統,采用于track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中大達到50000rpm/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和極高的可重復性。



    性能參數:



    l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

    l  旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可0.1

    l  轉動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

    l  旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

    l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm

    l  轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm

    l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec

    l  支持wafer尺寸1cm-300mm12“圓晶)

    l  旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)



    產品特點:



    l  內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

    l  7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。

    l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

    l  標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。

    l  采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

    l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不會生銹,便于清洗。

    l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。




    產品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)



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