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    程控高精度勻膠機

    簡要描述:程控高精度勻膠機,SC100-SE型勻膠機是一種超高轉速精度,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。

    • 產品型號:SC100-SE
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2022-01-04
    • 訪  問  量:547

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    詳細介紹

    產品介紹:



     稱:程控高精度勻膠機

     號:SC100-SE

     用:程控高精度勻膠機,是一種超高轉速精度,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。



    產品概述:



      SC100-SE程控勻膠機是一種超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。
      不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業級別200瓦伺服電機系統,采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和極高的可重復性。



    性能參數:



    l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

    l  旋涂程序:可擴展編輯和存貯到無限程序步驟

    l  轉動速度:0-10,000rpm

    l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

    l  轉速精度達到±0.1rpm,超高轉速穩定性;

    l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step

    l  時間設置精度:0.1sec

    l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圓晶)

    l  旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)



    產品特點:



    l  內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

    l  7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。

    l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

    l  采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

    l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

    l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

    l  數顯真空壓力傳感器,真空值數字顯示,壓力開關值可設置;

    l  數顯水平度傳感器,實時顯示載物盤面的水平度,可通過底腳進行調節;

    l  自帶四個自動點膠端口,更多端口控制可升級。




    產品外型尺寸:
          433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構





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