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    程控精密勻膠機

    簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性

    • 產品型號:HC160PE
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2022-01-04
    • 訪  問  量:314

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    詳細介紹

    可編程精密勻膠機

    型號:HC160PE

       

        HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

    特點:

    l  設計緊湊,可放置在手套箱內;

    l  4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;

    l  不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;

    l  CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

    l  內腔壁采用獨特的凹面設計,有效防濺;

    l  高級PLC全自動程序控制,可編程;

    l  帶真空度安全互鎖檢測功能;

    l  帶蓋子安全互鎖檢測功能;

    l  帶排廢接口;

    l  配置一個自動點膠接口,可升級自動點膠系統;

    l  可設置用戶密碼保護功能;

    l  配置可調基座,方便調節水平;

    技術參數:

    l  適用晶元尺寸范圍:?10~160mm;

    l  旋涂速度:100~12000rpm;

    l  轉速分辨率:1rpm;

    l  旋涂加速度:100-30000rpm/s;

    l  旋涂時間:3000s;

    l  旋涂時間精度:0.1s;

    l  內腔直徑220mm,內腔壁采用獨特的凹面防濺設計;

    l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

    l  電源輸入:AC200-230V;

    設備外形尺寸:XX高:310X254X250mm

    HC160PE程控精密勻膠機

    HC160PE程控精密勻膠機



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